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簡要描述:DLS低溫晶圓測試(晶圓測試溫控系統(tǒng))所有的關(guān)鍵部件均選用進(jìn)口品牌,確保產(chǎn)品長時間可靠運行。同時所有產(chǎn)品發(fā)貨前均經(jīng)過嚴(yán)格測試與檢驗,確保設(shè)備到客戶現(xiàn)場不會出現(xiàn)任何問題。
詳細(xì)介紹
DLS系列低溫冷水機(jī)(晶圓測試溫控系統(tǒng))主要由制冷系統(tǒng)、循環(huán)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。制冷系統(tǒng)采用蒸汽壓縮式制冷。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、蓄冷容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成??刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術(shù),高清液晶屏顯示,設(shè)有多項保護(hù)功能,確保設(shè)備安全運行。通過機(jī)組自身的制冷與加熱,向外界輸送載熱流體,滿足工藝條件要求。
全密閉系統(tǒng):采用全密閉式系統(tǒng)設(shè)計,整個循環(huán)管路只有加液蓋上留出的呼吸孔,載冷介質(zhì)不會直接與空氣接觸,延長了介質(zhì)使用壽命同時確保系統(tǒng)運行的穩(wěn)定性。
高效換熱系統(tǒng):制冷采用板式換熱器,換熱效率高、結(jié)構(gòu)緊湊。
控制結(jié)果重復(fù)性:基于高級動態(tài)控制系統(tǒng),每次都能實現(xiàn)一致的控制結(jié)果,大大提升產(chǎn)品生產(chǎn)的穩(wěn)定性。
產(chǎn)品外觀:外觀設(shè)計吸取國外進(jìn)口產(chǎn)品的設(shè)計理念,采用大口徑石英玻璃液位計,液位計與操作屏放在同一側(cè),觀察方便,風(fēng)格簡約時尚,比列協(xié)調(diào),專有的色彩搭配。
質(zhì)量保障:所有的關(guān)鍵部件均選用進(jìn)口品牌,確保產(chǎn)品長時間可靠運行。同時所有產(chǎn)品發(fā)貨前均經(jīng)過嚴(yán)格測試與檢驗,確保設(shè)備到客戶現(xiàn)場不會出現(xiàn)任何問題。
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